型號(hào)
型號(hào)	MFA-PPD	MFA-CC	MFA-CCV6
行程范圍	25 mm	25 mm	25 mm
最大速度	1 mm/s	2.5 mm/s	1.25 mm/s
中心負(fù)載能力	50 N	50 N	25 N
軸向負(fù)載 (+Cx)	10 N	10 N	5 N
逆軸向負(fù)載能力 (-Cx)	-10 N	-10 N	-5 N
最小位移增量	100 nm	100 nm	100 nm
精度，典型值	±0.9 µm	±0.7 µm	±1.0 µm
精度，保證值	±3.0 µm	±3.0 µm	±3.0 µm
單向重復(fù)精度，典型值	±0.12 µm	±0.08 µm	±0.08 µm
單向重復(fù)精度，保證值	±0.25 µm	±0.15 µm	±0.15 µm
雙向重復(fù)精度，保證值	±0.75 µm	±0.75 µm	±1.0 µm
雙向重復(fù)精度，典型值	±0.2 µm	±0.15 µm	±0.2 µm
俯仰，典型值	±25 µrad	±25 µrad	±25 µrad
俯仰，保證值	±100 µrad	±100 µrad	±100 µrad
俯仰順應(yīng)性	80 µrad/Nm	80 µrad/Nm	80 µrad/Nm
偏擺，典型值	±30 µrad	±30 µrad	±30 µrad
偏擺，保證值	±50 µrad	±50 µrad	±50 µrad
偏擺順應(yīng)性	80 µrad/Nm	80 µrad/Nm	80 µrad/Nm
滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性	60 µrad/Nm	60 µrad/Nm	60 µrad/Nm
原點(diǎn)重復(fù)精度	±2.5 µm	±2.5 µm	±2.5 µm
驅(qū)動(dòng)方式	Stepper Motor	DC Motor	DC Motor
軸承	Double-Row Ball Bearings	Double-Row Ball Bearings	Double-Row Ball Bearings
螺紋類型	M2 and M3	M2 and M3	M2 and M3
電纜長度	3 m	3 m	1.5 m
真空兼容性	No	No	10-6 Torr
MTBF	10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)	10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)	10,000 h (25% load, 30% Duty cycle)
Compliance

MFA 系列微型鋼線性位移臺(tái)特征

雙排線性滾珠軸承滑軌

Newport專有的雙列直線球軸承設(shè)計(jì)具有直接加工到平臺(tái)結(jié)構(gòu)框架中的軸承方式，可實(shí)現(xiàn)非常順暢的行程，更長的耐用性和更長的使用壽命。與使用商用軸承的其他解決方案相比，MFA線性位移臺(tái)具有更高的負(fù)載能力和剛度，并且俯仰和偏航誤差也較小。

帶有高分辨率反饋的高速直流電機(jī)

直流電動(dòng)機(jī)的最大特點(diǎn)是速度快，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，效率高，功率/重量比高。MFA-CC直流電動(dòng)機(jī)具有一個(gè)集成的齒輪箱和一個(gè)電動(dòng)機(jī)安裝的旋轉(zhuǎn)編碼器。這個(gè)2,048 cts / rev 高分辨率的旋轉(zhuǎn)編碼器提供位置反饋。結(jié)合低摩擦機(jī)械設(shè)計(jì)，MFA-CC可提供100納米靈敏度的超平滑運(yùn)動(dòng)。更快的運(yùn)動(dòng)，更高的可靠性和更低的游隙使直流電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的位移臺(tái)非常適合要求小增量運(yùn)動(dòng)，高動(dòng)態(tài)速度和良好重復(fù)性的應(yīng)用。

經(jīng)濟(jì)型微米步進(jìn)電機(jī)

對(duì)于要求不高的應(yīng)用，步進(jìn)電機(jī)可能是比直流電機(jī)更經(jīng)濟(jì)的解決方案。步進(jìn)電動(dòng)機(jī)使用磁吸和排斥的基本原理進(jìn)行操作，將數(shù)字脈沖轉(zhuǎn)換為機(jī)械軸的旋轉(zhuǎn)。為了提高運(yùn)動(dòng)的分辨率和平滑度，MFA-PPD具有微米步進(jìn)功能，這是一種將運(yùn)動(dòng)的完整步長以電子方式劃分為大量局部步長的方法。

全鋼結(jié)構(gòu)

全鋼機(jī)身允許使用更為緊湊的設(shè)計(jì)，使之具有出色的剛度重量比、更高的熱穩(wěn)定性和載重能力。

運(yùn)行端點(diǎn)限位開關(guān)

平移臺(tái)兩端具有運(yùn)行端點(diǎn)限位開關(guān)，以防止平移臺(tái)因超程而受損。

頂板和底板

有關(guān)更多用途和安裝選項(xiàng)，頂板和底板可以單獨(dú)訂購實(shí)現(xiàn)垂直（Z軸）安裝和光學(xué)平臺(tái)安裝。對(duì)于垂直安裝，請(qǐng)注意，垂直（Z軸）平臺(tái)應(yīng)連接到MFA- BK 。首先（通過MFA-BK的兩個(gè)沉孔M3孔），然后可以通過MFA-BK的四個(gè)沉孔M2孔將組合安裝到水平（X軸或Y軸）平臺(tái)上。